[
点击图片查看原图
高精度控制
可以实现敏感度0.1%F.S.,反复再现性±0.1%F.S.的高精度空气压力控制。
优异的特性
具有非常优异的排气特性，压力特性，流量特性。特别是 小排气压力（排气敏感度）
为0.03kPa。（有非常优异的理论计算值，张力控制，气动平衡装置的用途是 为适用的。）
优异的始动安定性
长时间不动作后，也没有必再调整压力设定。
耐臭氧特性，耐发粉尘特性
为了提高耐臭氧，耐发粉尘的特性，橡胶部品采用了氟橡胶。
排气孔的配备
因为排气孔，溢流孔可以连接排气用配管，排气，溢流空气可以排到外部。适用于半导体，电子器械制造行业。
大幅度的轻量化
本体的材质采用了铝合金铸造，与以往的产品比较实现了大幅度的轻量化。